1. Formningsteknik
Torrpressning: Lämplig för enkla-formade delar, låg kostnad men begränsad precision.
Formsprutning: Kan tillverka komplexa strukturer, såsom keramiska miniatyrväxlar, kräver en stor mängd bindemedel.
Gjutning: Används för att producera ultra-tunna keramiska substrat (tjocklek<0.1mm).
2. Sintringsprocesser
Atmosfäriskt trycksintring: Hög ekonomisk effektivitet, men lägre densitet.
Hot Isostatic Pressing (HIP): Förbättrar materialdensiteten genom en hög-argonmiljö, vilket ger prestanda nära teoretiska värden.
3. Precisionsbearbetningsteknik
Diamantslipning: Använder diamantskivor för bearbetning av plana eller krökta ytor, med precision upp till ±1μm.
Laserbearbetning: Femtosekundlasrar kan uppnå mikron-nivåborrning, som används för genomgående-hålstillverkning i keramiska kretskort.
Ultraljudsbearbetning: Använder hög-vibrationer för att bryta material, lämpligt för bearbetning av spröd keramik som zirkoniumoxid.
4. Ytbehandling
Kemisk mekanisk polering (CMP): Används för planarisering i nanoskala av keramiska halvledarsubstratytor.
Beläggningsteknik: Avsättning av en TiN-beläggning på verktygsytan för att förbättra slitstyrkan.