Fotovoltaiska keramiska munstycken är precisionskeramiska delar för gasdistribution och kemisk sprutning vid solcellstillverkning. De används i CVD- och PECVD-utrustning, våt-etsningssystem och relaterade leveransenheter där munstycket är en del av processens-vätskebana.

Kärnfördelar

±0,01 mm hålnoggrannhet

Borrningsdiametern är ±0,01 mm. I en gas- eller vätskedistributionsenhet med flera-munstycken minskar styrning av varje passage till detta intervall variationen mellan munstyckena och stödjer ett mer konsekvent flöde över arrayen.

Ra Mindre än eller lika med 0,2 μm inre yta

Inre ytjämnhet är Ra Mindre än eller lika med 0,2 μm. En jämnare vägg lämnar färre punkter för partiklar eller kemikalierester att samlas in i smala passager, vilket hjälper till att långsamma gradvis begränsning av flödesvägen.

Varmt och frätande processkuvert

Maximal arbetstemperatur är 1200 grader eller 1500 grader beroende på vald keram, och munstyckena är specificerade för att motstå de flesta sura och alkaliska gaser. Materialval kan därför baseras på både driftstemperatur och processmedium.

Anpassning

Material

Materialval är 99% aluminiumoxid och kiselkarbid.

Längd och monteringsgränssnitt

Totallängd görs efter kundritning. Axlar, flänsar, monteringshål och andra lokaliseringsdetaljer kan läggas till för att matcha utrustningens gränssnitt.

Utlopp och flödesgeometri

Den godkända ritningen eller prototypen kan definiera borrningslayout, utloppsriktning, spraygeometri och fler-hålskonfigurationer.

Specifikationer

Parameter	Specifikation
Materialtyper	99% aluminiumoxid, kiselkarbid
Borrdiameter noggrannhet	±0,01 mm
Inre ytjämnhet (Ra)	Mindre än eller lika med 0,2μm
Munstyckeslängd	Per kundritning
Max. Arbetstemperatur	1200 grader (aluminiumoxid) / 1500 grader (kiselkarbid)
Korrosionsbeständighet	Tål de flesta sura och alkaliska gaser

Kvalitetskontroll

Hålstorleken kontrolleras efter bearbetning. Den inre passagen inspekteras också för blockering, kantskador och ytförhållanden innan munstycket går till funktionsverifiering.

Flödestestning bekräftar att den färdiga passagen är öppen och ger en konsekvent kanal. Yttermått, monteringsdetaljer och tätnings- eller placeringsytor kontrolleras separat mot ritningen.

Före packning kontrolleras munstyckena med avseende på utseende, accepterad kvantitet och renhet. Inspektionsprotokollen stannar kvar i partiet, tredje-inspektion kan ordnas och munstycksspetsar och precisionsytor är åtskilda i förpackningen.